信息來源于《中國(guó)傳感器(技術(shù)、產(chǎn)業(yè))發(fā)展藍(lán)皮書》
中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程
在重視產(chǎn)品開發(fā)的同時(shí),重視“中試生產(chǎn)”
在“工業(yè)過程自動(dòng)控制”項(xiàng)目中,“敏感元件及傳感器開發(fā)”作為攻關(guān)課題進(jìn)行攻關(guān)。
開發(fā)擴(kuò)散硅2英寸硅片的芯片制備工藝、力敏器件封接工藝、硅杯加工工藝,以及薄膜濺射工藝,厚膜漿料配制及元件刻蝕、調(diào)阻等傳感器制造的新工藝。
開發(fā)了17種新型敏感材料,使敏感材料依靠國(guó)外的局面有了很大的改善。
擴(kuò)散硅力敏器件、壓力傳感器、液位傳感器、薄膜鉑電阻、厚膜鉑電阻、電渦流傳感器等新產(chǎn)品,進(jìn)行了小批量生產(chǎn),并在電站故障診斷系統(tǒng)等工程中應(yīng)用。在沈陽儀器儀表工藝研究所和大連儀表元件廠進(jìn)行硅壓力傳感器的中試生產(chǎn),產(chǎn)品的技術(shù)水平與當(dāng)時(shí)國(guó)外同類產(chǎn)品水平相當(dāng)。
“八五”期間
加強(qiáng)傳感技術(shù)研究,開展“批量生產(chǎn)研究”
“傳感器技術(shù)研究”列為國(guó)家科技攻關(guān)。以“3-5-3”的原則安排,即以工業(yè)控制、測(cè)試儀器和機(jī)電一體化為服務(wù)對(duì)象,選擇力、磁、熱、濕、氣五大類傳感器為攻關(guān)重點(diǎn),形成沈陽儀表工藝所、上海冶金所、 哈爾濱49所三個(gè)傳感器研發(fā)中心。
取得新技術(shù)、新工藝37項(xiàng),開發(fā)了74個(gè)品種132規(guī)格的新產(chǎn)品,獲得國(guó)家專利15項(xiàng)。攻關(guān)期間銷售各類傳感器2360萬只,銷售收入13711萬元,創(chuàng)匯214萬美元。
首次開發(fā)了InSb磁敏薄膜和霍爾元件;小型廉價(jià)壓力傳感器、磁敏電流傳感器、厚膜壓力傳感器、高性能NTC熱敏電阻、可燃?xì)怏w傳感器、廉價(jià)濕度傳感器等產(chǎn)品開始批量生產(chǎn)。
“九五”期間
“工程化研究”正式立項(xiàng)
“十五”期間
“產(chǎn)業(yè)化研究”成為攻關(guān)重要內(nèi)容
“十一五”至今
“傳感器的規(guī)模化產(chǎn)業(yè)化問題”成為傳感器的熱點(diǎn),引起多方關(guān)注。
中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)
1
基礎(chǔ)面廣,依附性強(qiáng)
傳感器、傳感技術(shù)的發(fā)展依附于敏感機(jī)理、敏感材料、制備工藝、工藝裝備、檢測(cè)技術(shù)、市場(chǎng)應(yīng)用六塊基石。敏感機(jī)理千差萬別,敏感材料多種多樣,工藝技術(shù)層出不窮,工藝裝備各有特點(diǎn),檢測(cè)技術(shù)變化多端,市場(chǎng)應(yīng)用復(fù)雜多變。沒有上述六塊基石支持,傳感器和傳感技術(shù)發(fā)展難以為繼。
2
技術(shù)密集,新技術(shù)日新月異
傳感器是多學(xué)科、多技術(shù)的綜合,特別是智能傳感器,除涉及傳感技術(shù)外,還涉及IC技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、無線通信技術(shù)等,而這些技術(shù)都在不斷開展和完善中。納米技術(shù)、量子技術(shù)、柔性技術(shù)、新材料技術(shù)等均在不斷發(fā)展,開發(fā)出相應(yīng)的傳感器產(chǎn)品,使得設(shè)計(jì)技術(shù)、工藝技術(shù)和應(yīng)用技術(shù)跟進(jìn)拓展。
3
投資密集,投資強(qiáng)度高
對(duì)傳感器芯片制造企業(yè)而言,傳感器除在產(chǎn)品研發(fā)過程中需投入大量資金外,在工藝裝備、測(cè)試設(shè)備、示范應(yīng)用、人才培養(yǎng)等方面的投資也很高,尤其是在工程化研究以及實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)時(shí),要求的投資強(qiáng)度更高,而且要求投資是連續(xù)性投資,在短期內(nèi)又很難見到效益。
對(duì)非傳感器芯片制造企業(yè),投資強(qiáng)度未必很高,對(duì)純傳感器應(yīng)用企業(yè),只要掌握某一應(yīng)用技術(shù)就可開公司,從事傳感器的應(yīng)用,而芯片或芯體從外面購(gòu)買。對(duì)傳感器的商貿(mào)公司,投資強(qiáng)度就更低了。所以國(guó)內(nèi)從事傳感器產(chǎn)業(yè)的企業(yè)眾多,生產(chǎn)制造型企業(yè)僅為7.8%。90%以上是小微企業(yè),其優(yōu)勢(shì)之一是能幫政府解決一些就業(yè)問題。
4
產(chǎn)業(yè)鏈長(zhǎng),產(chǎn)業(yè)化是難點(diǎn)
傳感器產(chǎn)業(yè)鏈很長(zhǎng),從設(shè)計(jì)、制備、產(chǎn)業(yè)化到工程應(yīng)用,有上百個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈條需打通,其中有一個(gè)鏈條出問題,就將功虧一簣。而要實(shí)現(xiàn)傳感器產(chǎn)業(yè)化,必須解決一系列傳感器產(chǎn)業(yè)化難題:如產(chǎn)業(yè)化中關(guān)鍵技術(shù)的突破、產(chǎn)業(yè)化條件的提供、產(chǎn)業(yè)化人才的培養(yǎng)、產(chǎn)品的市場(chǎng)應(yīng)用規(guī)模,產(chǎn)業(yè)政策的制定和實(shí)施等一系列問題。
5
產(chǎn)品規(guī)格多,應(yīng)用分散
傳感器的難點(diǎn)在于產(chǎn)業(yè)化
重點(diǎn)也在于產(chǎn)業(yè)化
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